Stone_Hou 头像

侯祥胡 Stone_Hou

中芯国际(SMIC)北京厂区 · 薄膜工艺资深工程师

15 年+ PVD 薄膜工艺经验,专注 RRAM 项目 TaN 工艺开发,致力于国产材料与制造平台的量产验证导入。终身学习者,R 语言 / 数据科学 / Git 技术笔记分享者。

关于我

我是 Stone_Hou(侯祥胡),任职于中芯国际(SMIC)北京厂区金属薄膜工艺部,拥有 15 年+ 300mm 晶圆薄膜工艺研发与量产经验。目前担任技术专家,深耕 RRAM 存储器件工艺开发、TSV 先进封装以及全国产材料/设备平台的量产验证导入。

信奉业精于勤,注重数据驱动解决问题,坚持知行合一。工作之余持续学习 R 语言数据分析、Git 版本管理、数据可视化等技术,积累实战笔记并公开分享于此。

300mm 晶圆制造 PVD / ALD / ECP RRAM / TSV 先进封装 制程开发 & 良率提升 国产化材料/设备验证 SPC / DOE / 数据分析
所在企业
中芯国际 SMIC(北京)
岗位
金属薄膜工艺部 · 技术专家
从业年限
15 年+(2011–至今)
技术方向
PVD / ALD / ECP / RRAM

教育经历

北京科技大学 · 材料科学与工程 硕士
新金属材料国家重点实验室|课题:InGaN 化合物半导体光伏薄膜材料制备工艺与性能分析
2008 – 2011
湖南科技大学 · 材料科学与工程 学士
机电学院|课题:机械合金化制备 Fe-Si-Al 软磁合金
2004 – 2008

职业历程与动态

2025
55RRAM 工艺开发与验证完成 — 优化 TaO/TaN/ALD HfO 颗粒缺陷,提升良率,研发转量产累计出货晶圆 2000 片,支撑新型存储技术落地。
2024-12
国产材料与制造平台导入量产验证完成,力保 2025 完美收官。
2024
55HV Ramlite PVD 良率提升 — 优化 BSA&ECP、污染物管控与 OPC 修正,良率从 80% 提升至 92%,累计量产 5 万片以上。
2023-12
立根国内一流平台,放眼全球,为国产材料与制造平台导入量产验证,躬身入局,挺膺负责。
2022 – 2025
国产电镀铜添加剂迭代验证 — 完成 6 个版本迭代,解决离线与在线数据偏差、缺陷适配问题;累计节约成本超 100 万美元,厘清蚀刻残留诱发电镀缺陷机理并落地方案。
2022
晋升金属薄膜工艺部技术专家,全面负责 RRAM 工艺开发、TSV 先进封装及国产化验证项目。
2021 – 2025
全国产 2.5D TSV 工艺开发 — 国内首家完成全国产设备+国产材料 TSV BSA&ECP 工艺通线验证与量产,300mm 晶圆累计出货 5 万片+,推进半导体国产化。
2021-09
整理并发布 Markdownlint_Rules.md 规则文档。
2019 – 2020
任主任工程师期间,电镀菜单优化使机台 WPH 提升 15%,年增产晶圆 360K 片;联合 IT 新增数十项制程监控参数,提前预警异常,年节约成本 10 万美金以上。
2017-05
系统整理 Git 高级用法笔记与 R 语言数据科学学习系列,公开分享于个人主页。
2014 – 2017
国内首家完成国产 Cu/Ta 靶材验证量产,每年节约靶材成本百万元;精通 SPC、DOE 实验设计,熟练使用 JMP/Excel/R 开展工艺数据分析。
2011
入职中芯国际北京厂区金属薄膜工艺部,开启 300mm 晶圆薄膜工艺生涯。
2015-04
Hello GitHub — 个人主页首次上线。

学习笔记

推荐资源

R
R for Data Science
Hadley Wickham 经典著作
R
Tidyverse
R 数据科学工具集
R
R 语言忍者秘笈
谢益辉 著
R
R-Bloggers
R 语言新闻与教程聚合
R
Plotly ggplot2
交互式可视化
R
Bookdown
用 R Markdown 写书
DataCamp
数据科学在线学习平台
粉丝日志
张丹(Conan)R 语言博客
生物信息学公共图书馆
Public Library of Bioinformatics
3D
SketchUp 3D Warehouse
3D 模型资源库
Git
我的 GitHub
@xiangxing98